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上海新阳：公司KrF光刻胶已批量化生产销售

发布时间：2023-01-28 已有：位网友关注

　　有投资者在投资者互动平台提问：请董秘介绍下KrF、ArF、EUV各类芯片半导体光刻胶新产品进展。

　　上海新阳1月28日在投资者互动平台表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。

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